Стремянка С1-04 (H=1800) Лестница стальная (6 ступеней) для канализационных колодцев ТПР 902-09-22.84

Стандартные стальные сварные вертикальные лестницы-стремянки марки С1-04 для канализационных колодцев по чертежам ТПР 902-09-22.84-КЖИ.С1 (Типовые проектные решения 902-09-22.84 «Колодцы канализационные» альбом VII «Строительные изделия»).

Пермская производственная компания «ГРАН-Стиль» осуществляет деятельность по производству и доставке в любой регион России, Белоруссии и Казахстана (стран ЕАЭС) стальных канализационных лестниц-стремянок

Размеры вертикальной лестницы-стремянки С1-04

• Ширина лестницы-стремянки — 500 мм
• Высота (длина) стремянки — 1800 мм
• Вес (масса) стремянки — 19,4 кг

Конструкция канализационной стальной стремянки С1-04

Стремянка С1-03 является металлической вертикальной лестницей с двумя стойками-тетивами и расположенными между ними перекладинами-ступенями круглого сечения

• Вертикальные стойки-тетивы (2 шт. ) длиной 1800 мм — стальной равнополочный горячекатаный уголок сечением 50×5 мм по ГОСТ 8509
• Круглые ступени диаметром 18 мм — круглый стальной пруток длиной 485 мм по ГОСТ 2590 (пруток 18×485-А240С по ГОСТ 34028 класса A-I по ГОСТ 5781)
• Длина ступеней (расстояние между стойками) — 400 мм
• Количество ступеней — 6 шт.
• Высота ступени — 300 мм

Сварка вертикальных стоек со ступенями осуществляется нахлесточными швами Н1-Рш по ГОСТ 14098, ГОСТ 5264 (ручная дуговая сварка) или Н1-Мш по ГОСТ 14098, ГОСТ 14771 (дуговая сварка в защитном газе).

Область применения канализационных стремянок С1-04

Металлические канализационные лестницы-стремянки марки С1-04, изготовленные по типовым чертежам ТПР 902-09-22.84-КЖИ.С1, применяются для спуска внутрь канализационных колодцев:

линейных, поворотных и узловых смотровых и перепадных круглых колодцев диаметром Dк 1000, 1500 или 2000 мм и высотой рабочей камеры Hр = 2100 мм, установленных на наружных канализационных сетях с диаметром труб от 150 до 1200 мм (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома II «Колодцы канализационные круглые из сборного железобетона для труб Д_у = 150—1200 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома III «Колодцы канализационные круглые из кирпича и бетона для труб Д_у = 150—1200 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома V «Колодцы канализационные круглые для дюкеров Д_у = 150—400 мм» и лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома VI «Колодцы канализационные перепадные для труб Д_у = 150—600 мм»),

а также для спуска внутрь прямоугольных смотровых бетонных колодцев: линейных (типа ПЛ-4), поворотных (типа ПП-4 и ПП-9) и узловых (типа ПУ1-4, ПУ1-9, ПУ1-14, ПУ1-19, ПУ1-24, ПУ1-29, ПУ1-34, ПУ1-39, ПУ1-44, ПУ1-49, ПУ2-4, ПУ2-9, ПУ2-14, ПУ2-19, ПУ2-24, ПУ2-29, ПУ2-34, ПУ2-39, ПУ2-44, ПУ2-49, ПУ2-54, ПУ2-59, ПУ2-64, ПУ2-69 и ПУ2-74) размером 150×200, 200×200 и 200×250 см с высотой рабочей части Hр = 1800 мм, установленных на наружных канализационных сетях с диаметром труб от 1000 до 1500 мм (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома IV «Колодцы канализационные прямоугольные из бетона для труб Д_у = 1000—1500 мм»).

Установка стремянок в колодцах

Стремянки марки С1-04 устанавливаются на внутренней поверхности стен рабочей части канализационного колодца в соответствии с требованиями п. 6.3.4 СП 32.13330.2012 «Канализация. Наружные сети и сооружения» (актуализированная редакция СНиП 2.04.03-85).

Крепление канализационных лестниц осуществляется с помощью кронштейнов из стальных горячекатаных уголков сечением 50×5 мм по ГОСТ 8509 с шагом через 600 мм на расстоянии 100 мм от стены рабочей части и в 300 мм от дна круглого колодца (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-4 альбома II «Колодцы канализационные круглые из сборного железобетона для труб Д_у = 150—1200 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-8 альбома III «Колодцы канализационные круглые из кирпича и бетона для труб Д_у = 150—1200 мм» и лист ТПР 902-09-22. 84-АС-6 альбома V «Колодцы канализационные круглые для дюкеров Д_у = 150—400 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-13 альбома VI «Колодцы канализационные перепадные для труб Д_у = 150—600 мм»).

В прямоугольных бетонных колодцах низ стремянок замоноличивается на высоту 150 мм (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-4 альбома IV «Колодцы канализационные прямоугольные из бетона для труб Д_у = 1000 — 1500 мм»).

Крепежные кронштейны не входят в стандартный комплект поставки стремянок С1-04

Материалы, применяемые для изготовления стремянок

В производстве лестниц-стремянок типа С1 используется сертифицированный горячекатаный металлопрокат по ГОСТ 535 и ГОСТ 34028 (ГОСТ 5781) из углеродистых сталей марок:

• кипящей Ст3кп по ГОСТ 380 (класса прочности С235 по ГОСТ 27772), 
• полуспокойной Ст3пс по ГОСТ 380 (класса С245 по ГОСТ 27772) или 
• спокойной Ст3сп5 по ГОСТ 380 (класса С255 по ГОСТ 27772).

Защита стальных канализационных лестниц-стремянок от коррозии

осуществляется с учетом рекомендаций раздела 9 «Металлические конструкции» (приложение Ц) свода правил СП 28. 13330.2017 «Защита строительных конструкций от коррозии. Актуализированная редакция СНиП 2.03.11-85»

В качестве антикоррозионной защиты наносится один, два или три слоя масляной краски по ГОСТ 8292 (железный сурик МА-15 по ГОСТ 10503).

Толщина лакокрасочного покрытия железным суриком от 25 до 90 мкм

Возможна защита стремянок от коррозии с применением иных лакокрасочных материалов (в зависимости от условий их эксплуатации), например, грунтом ХС-010 на 1 раз, затем лаком ХВ-784 на 2 раза.

Производственная компания ГРАН-Стиль осуществляет поставки изготовленных стальных металлоизделий в любой регион России, Белоруссии и Казахстана (стран ЕАЭС)

Стремянка С1.04 (H=1800) Лестница стальная (6 ступеней) для канализационных колодцев ТПР 902-09-22.84 оптом. Цена: 1980 руб.

Стандартные стальные сварные вертикальные лестницы-стремянки марки С1-04 для канализационных колодцев по чертежам ТПР 902-09-22.84-КЖИ.С1 (Типовые проектные решения 902-09-22. 84 «Колодцы канализационные» альбом VII «Строительные изделия»).

Пермская производственная компания «ГРАН-Стиль» осуществляет деятельность по производству и доставке в любой регион России, Белоруссии и Казахстана (стран ЕАЭС) стальных канализационных лестниц-стремянок

Размеры вертикальной лестницы-стремянки С1-04

Ширина лестницы-стремянки — 500 мм
Высота (длина) стремянки — 1800 мм
Вес (масса) стремянки — 19,4 кг

Конструкция канализационной стальной стремянки С1-04

Стремянка С1-03 является металлической вертикальной лестницей с двумя стойками-тетивами и расположенными между ними перекладинами-ступенями круглого сечения

Вертикальные стойки-тетивы (2 шт.) длиной 1800 мм — стальной равнополочный горячекатаный уголок сечением 50×5 мм по ГОСТ 8509
Круглые ступени диаметром 18 мм — круглый стальной пруток длиной 485 мм по ГОСТ 2590 (пруток 18×485-А240С по ГОСТ 34028 класса A-I по ГОСТ 5781)
Длина ступеней (расстояние между стойками) — 400 мм
Количество ступеней — 6 шт.
Высота ступени — 300 мм

Сварка вертикальных стоек со ступенями осуществляется нахлесточными швами Н1-Рш по ГОСТ 14098, ГОСТ 5264 (ручная дуговая сварка) или Н1-Мш по ГОСТ 14098, ГОСТ 14771 (дуговая сварка в защитном газе).

Область применения канализационных стремянок С1-04

Металлические канализационные лестницы-стремянки марки С1-04, изготовленные по типовым чертежам ТПР 902-09-22.84-КЖИ.С1, применяются для спуска внутрь канализационных колодцев:

линейных, поворотных и узловых смотровых и перепадных круглых колодцев диаметром Dк 1000, 1500 или 2000 мм и высотой рабочей камеры Hр = 2100 мм, установленных на наружных канализационных сетях с диаметром труб от 150 до 1200 мм (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома II «Колодцы канализационные круглые из сборного железобетона для труб Ду = 150—1200 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома III «Колодцы канализационные круглые из кирпича и бетона для труб Ду = 150—1200 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома V «Колодцы канализационные круглые для дюкеров Ду = 150—400 мм» и лист ТПР 902-09-22. 84-АС-1 альбома VI «Колодцы канализационные перепадные для труб Ду = 150—600 мм»),

а также для спуска внутрь прямоугольных смотровых бетонных колодцев: линейных (типа ПЛ-4), поворотных (типа ПП-4 и ПП-9) и узловых (типа ПУ1-4, ПУ1-9, ПУ1-14, ПУ1-19, ПУ1-24, ПУ1-29, ПУ1-34, ПУ1-39, ПУ1-44, ПУ1-49, ПУ2-4, ПУ2-9, ПУ2-14, ПУ2-19, ПУ2-24, ПУ2-29, ПУ2-34, ПУ2-39, ПУ2-44, ПУ2-49, ПУ2-54, ПУ2-59, ПУ2-64, ПУ2-69 и ПУ2-74) размером 150×200, 200×200 и 200×250 см с высотой рабочей части Hр = 1800 мм, установленных на наружных канализационных сетях с диаметром труб от 1000 до 1500 мм (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-1 альбома IV «Колодцы канализационные прямоугольные из бетона для труб Ду = 1000—1500 мм»).

Установка стремянок в колодцах

Стремянки марки С1-04 устанавливаются на внутренней поверхности стен рабочей части канализационного колодца в соответствии с требованиями п. 6.3.4 СП 32.13330.2012 «Канализация. Наружные сети и сооружения» (актуализированная редакция СНиП 2.04.03-85).

Крепление канализационных лестниц осуществляется с помощью кронштейнов из стальных горячекатаных уголков сечением 50×5 мм по ГОСТ 8509 с шагом через 600 мм на расстоянии 100 мм от стены рабочей части и в 300 мм от дна круглого колодца (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-4 альбома II «Колодцы канализационные круглые из сборного железобетона для труб Ду = 150—1200 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-8 альбома III «Колодцы канализационные круглые из кирпича и бетона для труб Ду = 150—1200 мм» и лист ТПР 902-09-22.84-АС-6 альбома V «Колодцы канализационные круглые для дюкеров Ду = 150—400 мм», лист ТПР 902-09-22.84-АС-13 альбома VI «Колодцы канализационные перепадные для труб Ду = 150—600 мм»).

В прямоугольных бетонных колодцах низ стремянок замоноличивается на высоту 150 мм (см. лист ТПР 902-09-22.84-АС-4 альбома IV «Колодцы канализационные прямоугольные из бетона для труб Ду = 1000 — 1500 мм»).

Крепежные кронштейны не входят в стандартный комплект поставки стремянок С1-04

Материалы, применяемые для изготовления стремянок

В производстве лестниц-стремянок типа С1 используется сертифицированный горячекатаный металлопрокат по ГОСТ 535 и ГОСТ 34028 (ГОСТ 5781) из углеродистых сталей марок:

кипящей Ст3кп по ГОСТ 380 (класса прочности С235 по ГОСТ 27772), 
полуспокойной Ст3пс по ГОСТ 380 (класса С245 по ГОСТ 27772) или 
спокойной Ст3сп5 по ГОСТ 380 (класса С255 по ГОСТ 27772).

Защита стальных канализационных лестниц-стремянок от коррозии

осуществляется с учетом рекомендаций раздела 9 «Металлические конструкции» (приложение Ц) свода правил СП 28.13330.2017 «Защита строительных конструкций от коррозии. Актуализированная редакция СНиП 2.03.11-85»

В качестве антикоррозионной защиты наносится один, два или три слоя масляной краски по ГОСТ 8292 (железный сурик МА-15 по ГОСТ 10503).

Толщина лакокрасочного покрытия железным суриком от 25 до 90 мкм

Возможна защита стремянок от коррозии с применением иных лакокрасочных материалов (в зависимости от условий их эксплуатации), например, грунтом ХС-010 на 1 раз, затем лаком ХВ-784 на 2 раза.

Материал лестницы: Сталь Ст3
Применение лестницы: Наружное/внутреннее
Форма лестницы: Прямая
Количество подъемов: 6
Ширина: 0.5 м
Конструкция лестницы: Стремянка
Вес, кг: 19. 4
Цвет: Красно-коричнывый
Высота ступени: 300
Ширина ступени: 400
Количество ступеней: 6
Высота стремянки (В): 1800

лучших сборок лестниц для Diablo II: Resurrected Ladder Season 1

Теперь, когда у нас было немного времени, чтобы изучить и поиграть с контентом Diablo II: Resurrected Patch 2.4, давайте взглянем на некоторые билды персонажей, которые могут быть успешными и интересными для игры в Ladder Season 1, который начнется всего через несколько минут. часы. Если хотите, назовите это сборками «высшего уровня» сезона. Тем не менее, мы рассматриваем не обязательно самые сильные сборки, а скорее те, у которых есть несколько общих качеств, в дополнение к тому, что они сильны в игре, будь то соло, группа или хардкор.

Почему это лучшие сборки первого сезона лестницы?

• Сильный DPS, включая некоторое AoE
• Высокая живучесть
• Не особо зависит от экипировки
• Мощный от начала до конца игры play

Лучшие сборки Ladder Season One

Итак, основываясь на этих критериях, мы номинируем эти пять сборок, в произвольном порядке, как «лучшие» для Diablo II: Resurrected Ladder Season One.

• Вызов друида
• Волшебница Гидры
• Варвар с двойным броском
• Паладин Smiter / FoH
• Strafe Amazon / Strafezon

Summon 0038 Что нового в Summon Druid

Раньше этот билд был мешает невозможность вызвать несколько типов друзей-животных одновременно, а также слабый общий урон. Патч 2.4 открыл значительные возможности для этого билда, нового и необычного, напоминающего старого фаворита, Призывающего некроманта.

Summon Druid Обзор

Summoner Druid — это сборка, основанная на классовой фантазии одинокого друида, направляющего прислужников природы для нападения на его врагов. Это жизнеспособная сборка от верхней до конечной игры, которая удивительно хорошо подходит для целенаправленного убийства боссов, включая Уберов. Тем не менее, возможность призвать целый «зоопарк» миньонов теперь расширяет эту гибкость и до приличной крупномасштабной сборки AoE. Мы ожидаем, что это будет главная сборка в первом сезоне Ladder.

Если вам нравится иметь много-много друзей-животных, которые следуют за вами в дебри Санктуария, ознакомьтесь с нашим подробным руководством по ссылке ниже.

Summoner Druid Guide

Hydra Sorceress

Что нового в Hydra Sorceress

Два ключевых изменения делают Hydra Sorceress новой силой. Гидры сами по себе более мощные и быстрее сотворяются, а устранение общих таймеров перезарядки означает, что она может иметь стек пылающих гидр и по-прежнему извергать тонны холода, чтобы справиться с невосприимчивыми к огню врагами

Гидра-волшебница Обзор

The Hydra Sorc — это что-то вроде классической сборки Diablo III, где этот навык проявил себя по-настоящему. Однако до патча 2.4 в Diablo II он был довольно тусклым. Теперь эта сборка становится жизнеспособной вплоть до /players 8. Волшебница-гидра — специалист по огню, обладающий потрясающими способностями к противостоянию и обеспечивающий простой, можно даже сказать, расслабляющий стиль игры. С недавно усиленными Гидрами и изменениями в таймерах перезарядки в пользу гибридных заклинателей, мы думаем, что это может быть главная сборка в первом сезоне Ladder.

Если вы не боитесь змей, извергающих пламя, ознакомьтесь с нашим подробным руководством по ссылке ниже.

Hydra Sorceress Guide

Варвар с двумя бросками

Что нового в варваре с двумя бросками

Есть несколько изменений в метании, которые делают этот билд особенно эффективным. Двойной бросок и мастерство метания стали значительно эффективнее с патчем 2.4, а обращение с боеприпасами для метательного оружия значительно улучшило общее качество жизни.

Двойной бросок Варвара Обзор

Бросок варвара — это нетрадиционная сборка варвара, в которой используются Двойной бросок и Мастерство броска для проведения мощных дальних атак, а не традиционный стиль игры варвара с близкого расстояния. Бросок варвара может легко уничтожать большие группы врагов, а также боссов. Бюджетные и конечные варианты сборки Throw Barbarian жизнеспособны при условии, что используются несколько необходимых ключевых элементов. Вариант сборки для эндгейма наносит заметно большой урон до такой степени, что он присоединится к мете. Конечная игра Throw Barbarian может легко пройти в одиночку такие уровни сложности Players 8 Hell, как Chaos Sanctuary и Worldstone Keep. Сборка также может эффективно очищать Uber Tristram.

Если вы хотите бросить вещи и время от времени издавать боевой клич, ознакомьтесь с нашим подробным руководством по ссылке ниже.

Руководство по варварам Dual Throw

Smiter / FoH Paladin

Что нового для Smiter / Fist of Heaven Paladin

Это будет исключительный билд в патче 2.4 из-за баффов Fist of the Heavens. Первый бафф — это уменьшение задержки произнесения заклинаний с 1 секунды до 0,4 секунды, а также то, что Fist of the Heavens не разделяет время восстановления с другими способностями задержки произнесения заклинаний. Самым примечательным баффом, несомненно, является то, что заклинание теперь также наносит урон не только нежити, но и демонам. Кулак Небес используется только для нанесения урона нежити. Это будет не лучшая сборка уровня коровы, но в остальном она первоклассная.

Smiter / Fist of Heaven Paladin Обзор

Иногда его называют тамплиером-поборником. Это билд паладина, который использует Fist of the Heavens и Smite для уничтожения любого типа монстров или зон в Diablo 2: Resurrected. Как знают ветераны D2R, Hammerdin Paladin был предпочтительным спеком для массовых ферм, тогда как Smiter Paladin был лучшим выбором для убийства боссов и очистки Ubers. С выпуском патча 2.4 билд Vindicator Templar Paladin станет мета-билдом, потому что он объединяет лучшее из обоих миров, эффективно сочетая силу Hammerdin и Smiter. Что еще более интересно, так это то, что сборка работает исключительно хорошо даже в бюджетном оборудовании.

Если вы хотите призвать Кулак Неба и поразить нечестивых в качестве тамплиера-воздаятеля, ознакомьтесь с нашим руководством ниже.

Smiter / FoH Паладин Руководство

Strafe Amazon / Strafezon

Что нового в Strafe Amazon

Сборки Strafe всегда были проблематичными по двум причинам. Во-первых, вы должны стоять на месте во время Стрейфа, а анимация Стрейфа не останавливается, пока вы не выстрелите все, что вам нужно. К счастью, ИИ довольно умен, поэтому, если есть только две цели и первые несколько стрел убивают обе, он не будет продолжать стрелять. Однако, если вы находитесь в людном месте, вы можете стать «страфлоком», неспособным уйти от опасности или сделать что-либо еще, пока ваш Стрейф не закончится. Это управляемая проблема при тщательном планировании. Во-вторых, до патча 2.4 атаки Strafe использовали только 75% мощности оружия. Патч 2.4 устраняет это ограничение, давая этой сборке значительный прирост урона. И, кстати, увеличенный боезапас в патче 2.4 также уменьшил проблему нехватки стрел.

Strafe Обзор Amazon

Сборка получила свое название от характерной способности Strafe, но использование Guided Arrow дает ей гораздо больше широты и стратегических возможностей. Strafezon — это сборка Amazon на основе лука (bowazon), которая использует Strafe в качестве основного режима атаки. Хотя он использует только одну стрелу или болт за бросок, стрела разделяется на несколько, поражая до 10 целей. Эта сборка представляет собой смесь Стрейфа с Направляемой стрелой, так как более сильный урон по одной цели и стратегические преимущества безошибочной Направляемой стрелы слишком хороши, чтобы отказываться от них. Благодаря прокачанной Валькирии и разумному использованию пассивных умений, эта сборка способна с легкостью очищать контент самого высокого уровня в игре.

Если вы хотите призвать Валькирию из Вальхаллы и отправиться сражаться с демонами, ознакомьтесь с нашим подробным руководством ниже.

Руководство Amazon по стрейфу

Получите WowheadPremium за 2 доллара в месяц. Наслаждайтесь работой без рекламы, разблокируйте премиум-функции и поддержите сайт!

Композиция полимерного покрытия силиконовой лестницы

ПРЕДПОСЫЛКИ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1. Область изобретения

Настоящее изобретение относится к композиции полимерного покрытия силиконовой лестницы.

2. Описание предшествующего уровня техники

В последние годы схема высокоинтегрированного полупроводникового устройства все больше совершенствовалась и уплотнялась. Для формирования пассивирующего слоя, пленки для релаксации напряжений или изолирующего слоя для твердотельного компонента используется метод ротационного покрытия полимерного материала, имеющего меньшее остаточное напряжение, превосходную гладкость и более высокую чистоту по сравнению с неорганическим материалом при температуре от 0,5 до 30 мкм. Такой полимерный материал готовят из силиконового лестничного полимера или полиимидной смолы. Когда силиконовый ступенчатый полимер наносится на пассивирующий слой, пленку для релаксации напряжений или изолирующий слой для твердотельного компонента, необходимо нанести раствор силиконового ступенчатого полимера на поверхность подложки из Si, Si-O путем вращения. , SiN или Al, высушивают и тонко обрабатывают полученную полимерную пленку для формирования вентиляционной части для верхнего и нижнего слоев проводника и сквозного отверстия для соединения с внешним подводящим проводом и т. п. Для такого метода требуется применение литографии. В возможном способе, например, материал позитивного резиста крезола новолака наносится на полимерную пленку, которая была покрыта вращением и высушена, и на пленке резиста формируется заданный рисунок. Затем протравливают полимерную пленку силиконовой лестницы, удаляют пленку резиста и проводят термическое отверждение для образования пленки. В этом случае силиконовая полимерная пленка ступенчатой ​​формы протравливается, а пленка резиста удаляется поэтапно по мокрому типу, и, следовательно, полимерная силиконовая ступенчатая пленка подвергается воздействию проявляющего раствора для материала резиста, промывочного раствора, травильного раствора для полимерная пленка с силиконовой лестницей, раствор для удаления резистивной пленки и т.п. Открытие патента Японии № 55-94955 (1980) и японской патентной публикации № 63-14749 (1988) раскрывают силиконовые растворы полимерных покрытий лестничного типа.

Когда силиконовая ступенчатая полимерная пленка, которая сформирована из такой традиционной композиции полимерного покрытия, подвергается тонкой обработке с помощью литографии, напряжение прикладывается к соответствующим слоям двухслойных полимерных пленок при погружении в растворы на соответствующих этапах, при хранении в растворителе или т. п. . Таким образом, полимерные пленки легко отделяются от подложки. Эта проблема особенно заметна в толстой полимерной пленке силиконовой лестницы. Кроме того, обычный раствор для покрытия, который содержит гигроскопичный полярный растворитель, а также полимерное поверхностно-активное вещество, настолько уступает по стабильности при хранении, что пленка в том виде, в каком она сформирована, имеет тенденцию к побелению.

СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Целью настоящего изобретения является получение композиции покрытия из силиконового полимера, обладающей отличными пленкообразующими свойствами и устойчивостью к влаге, а также превосходной стабильностью при хранении, которая не отделяется от подложки при воздействии проявочный раствор и раствор для ополаскивания на стадиях мокрого типа.

Композиция покрытия из силиконового полимера лестничного типа по изобретению содержит силиконовый полимерный лестничный полимер, выраженный следующей общей формулой: ##STR2##, где R ₁ представляет одинаковые или разные типы фенильных групп или низших алкильных групп, R ₂ представляет одинаковые или разные типы атомов водорода или низших алкильных групп, и n представляет собой целое число от 20 до 1000, ароматический органический растворитель, который добавляют таким образом, чтобы твердое вещество занимало от 5 до 30 процентов по весу, а силановый связующий агент от 150 до 3000 частей на миллион. по отношению к полимеру.

В соответствии с настоящим изобретением силановый связующий агент добавляют в подходящем количестве, чтобы силиконовая ступенчатая полимерная пленка в том виде, в каком она была сформирована, не отделялась от подложки, а адгезионные свойства пленки могли быть улучшены, в то время как ароматический органический растворитель адаптированы для улучшения свойства сохранения.

Силиконовый лестничный полимер согласно настоящему изобретению выражается следующей общей формулой: где R ₁ представляет собой одинаковые или разные типы фенильных групп или низших алкильных групп, R ₂ представляет собой одинаковые или различные типы атомов водорода или низших алкильных групп, и n представляет собой целое число от 20 до 1000. Например, силиконовый лестничный полимер получают по меньшей мере из одного из полифенилсилсесквиоксана, полифенилвинилсилсесквиоксана, полифенилметилсилсесквиоксана, полиметилвинилсилсесквиоксана, полиметилсилсесквиоксана, поливинилсилсесквиоксана и полиарилсилсесквиоксана. Свойство формирования пленки ухудшается, если целое число n в приведенной выше формуле меньше 20, в то время как свойство травления пленки в том виде, в котором она была сформирована, ухудшается, если целое число n превышает 1000.

Ароматический органический растворитель, используемый в настоящем изобретении, получают, по крайней мере, из одного из неполярного бензола, толуола, метоксибензола, этоксибензола и ортодиметоксибензола, при этом его плотность соответствующим образом определяется в соответствии с требуемой толщиной пленки на основе молекулярной массы .

Что касается силанового связующего агента в соответствии с настоящим изобретением, предпочтительно избегать аминового материала и материала с длинными органическими прямыми цепями с учетом термостойкости сформированной покрывающей пленки и влияния на устройство. Например, силановый связующий агент получают по меньшей мере из одного из винилтриэтоксисилана, винилтриметоксисилана, β-(3,4-эпоксициклогексил)этилтриметоксисилана, γ-глицидоксипропилтриметоксисилана и γ-глицидоксипропилметилдиэтоксисилана. от 150 до 3000 частей на миллион такого силанового связующего агента добавляют к силиконовому лестничному полимеру. При содержании менее 150 p.p.m невозможно достичь эффекта силанового аппрета, а при содержании выше 3000 p.p.m. ухудшается качество сформированной силиконовой лестничной полимерной пленки после термического отверждения/пленкообразования.

Силиконовый ступенчатый полимер смешивают с ароматическим органическим растворителем, состоящим из неполярного бензола или алкоксибензола, так что силиконовый ступенчатый полимер имеет плотность от 5 до 30 процентов по весу и вязкость от 100 до 5000 сП. Такой раствор силиконового лестничного полимера наносят на поверхность подложки из Si, Si-O, Si-N или Al методом ротационного покрытия или подобным способом, сушат, а затем термоотверждают при температуре не менее 300°С. C., чтобы сформировать пленку. Затем на сформированной силиконовой лестничной полимерной пленке формируют пленку фоторезиста, на которую с помощью ультрафиолетового излучения переносят рисунок фотошаблона. Эта пленка погружается в проявочный раствор и промывочный раствор (чистая вода), в результате чего формируется рисунок резиста. Раствор для проявления фоторезиста особо не ограничивается, но его можно приготовить из имеющегося в продаже материала. Затем полученный рисунок резиста используется в качестве маски для формирования открытой части путем сухого травления с использованием органического растворителя. В это время вещество желательно промыть слабым растворителем для силиконового полимера, чтобы остановить травление. Затем вещество погружают в материал, разделяющий резист, чтобы отделить пленку резиста, тем самым получая полимерную пленку силиконовой лестницы, на которую переносится рисунок. Рисунок переносится на силиконовую лестничную полимерную пленку посредством мокрых этапов формирования рисунка резиста, травления и отделения пленки резиста. В эксперименте по настоящему изобретению не наблюдалось ухудшения адгезионных свойств, такого как отделение силиконовой лестничной полимерной пленки от ее подложки, даже при увеличении времени погружения пленки в растворы в несколько раз по сравнению с обычными. на соответствующих этапах этапы повторялись или этапы выполнялись многостадийно. Кроме того, раствор для покрытия стабильно поддерживался прозрачным без изменения вязкости, даже если он сохранялся при 40°С в течение 1000 часов.

В соответствии с настоящим изобретением можно получить композицию силиконового полимерного покрытия лестничного типа, обладающую отличными пленкообразующими свойствами, устойчивостью к влаге, а также превосходной стабильностью при хранении, которая не отделяется от подложки при воздействии проявляющего раствора. , раствор для полоскания и т.п. на стадиях мокрого типа.

ОПИСАНИЕ ПРЕДПОЧТИТЕЛЬНЫХ ВАРИАНТОВ ВОПЛОЩЕНИЯ

Настоящее изобретение теперь описано более подробно на основе примеров, хотя следует отметить, что настоящее изобретение не ограничено такими примерами.

ПРИМЕР 1

Силиконовый ступенчатый полимер со средней молекулярной массой 200000, выраженный в следующей формуле: ##STR4##, где Ph представляет собой фенильные группы, смешивали с бензолом и силановым связующим агентом β-(3,4 к смеси добавляли эпоксициклогексил)этилтриметоксисилан в количестве 1500 м. д. по отношению к твердому веществу. Этот материал был приготовлен с плотностью 25% и вязкостью 5000 сантипуаз. Этот материал наносили на поверхность подложки из Si, Si-O, Si-N или Al с помощью ротационного покрытия и выпекали в атмосфере азота при 250°C в течение 1 часа с образованием силиконовой полимерной пленки лестничной формы.

Затем был использован коммерчески доступный фоторезистивный материал OFPR800 (торговая марка) от Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. для формирования пленки резиста толщиной 2 мкм, и рисунок фотошаблона был перенесен на него с помощью ультрафиолетового излучения. Материал погружали в проявляющий раствор для ОФПР (НМД-3) на 180 секунд, т. е. на срок больше обычного на 60 секунд, а в промывочный раствор (чистая вода) на 180 секунд, т. е. на срок больше чем обычный 20 секунд, чтобы сформировать шаблон сопротивления. С помощью СЭМ было подтверждено, что полимерная пленка силиконовой лестницы не отделялась от подложки.

Затем полученный рисунок резиста использовали в качестве маски, и вещество погружали в травильный раствор бензола на 60 секунд, а затем в промывочный раствор ксилола на 30 секунд, чтобы сформировать отверстие. С помощью СЭМ было подтверждено, что полимерная пленка силиконовой лестницы не отделялась от подложки, даже если этапы повторялись.

Затем вещество погружали в средство, разделяющее резист, для отделения пленки резиста, и снова было подтверждено, что пленка полимера силиконовой лестницы не отделялась от подложки, даже если время погружения увеличивалось и этап повторялся.

Когда силановый связующий агент не добавлялся, силиконовая полимерная пленка лестницы легко отделялась от подложки на любом из вышеупомянутых этапов. Таким образом, было признано возможным сформировать силиконовую ступенчатую полимерную пленку, которая обладает настолько улучшенными адгезионными свойствами, что она не отделяется от подложки, путем добавления соответствующего количества силанового связующего агента. Раствор стабильно оставался прозрачным без изменения вязкости, даже если его выдерживали при 40°С в течение 1000 часов.

ПРИМЕРЫ 2–20 И СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ПРИМЕРЫ 1–6

В таблице 1 показаны силиконовые ступенчатые полимерные материалы, растворители, значения плотности полимера и силановые связующие агенты, использованные для формирования образцов растворов покрытий, которые наносились на подложки для формирования пленок в соответствии с способ примера 1. В таблице 1 также показаны характеристики пленок, состояния растворов после хранения при 40°С в течение 1000 часов и состояния пленок после избыточных стадий мокрого типа в процессах литографии. Что касается сравнительных примеров 1-6, то невозможно было получить хорошие покрывающие пленки.

S1: (3,4-эпоксициклогексил)этилтриметоксисилан S2: винилтриметоксисилан S3: винилтриэтоксисилан S4: глицидоксипропилметилдиэтоксисилан

Настоящее изобретение не ограничивается приведенными выше примерами, но может быть модифицировано различными способами.